參（cān）數分析儀是一種多功（gōng）能的測試儀器，能夠（gòu）執行電（diàn）流-電壓（IV）、電容測量（CV）等多（duō）種測量和分析功能。以下是其主要技術指標：
- 測量功能：在（zài）0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V範圍內執行精確的電流-電壓（IV）測量，支持點（diǎn）測量、掃描測量、采樣和脈衝測量。在1 kHz - 5 MHz頻率範圍內執行交流電容測量，支（zhī）持準靜態電容-電（diàn）壓（yā）（QS-CV）測量的脈衝 IV 測量和超快 IV 測量，低采樣間隔為5 ns（200 MSa/s）。
- 測量精度：電容測試精度（1 pF，1 MHz）±1.2%。
- 分辨率：SMU模塊最小測（cè）量分辨（biàn）率為：電流（liú）50 fA，電壓0.5 μV。
- 其他特性：高達40 V的高壓脈勢，適用於（yú）非易失存儲（chǔ）器測試。
這些（xiē）技術（shù）指標（biāo）共同決定了參數分析（xī）儀的（de）性能和適用範圍，對於（yú）用戶選擇合適的參數分析儀至關重要。
